เลเซอร์ UV มีอยู่ 3 ประเภทหลักๆ
เลเซอร์โซลิดสเตตแบบปั๊มไดโอด
เครื่องแรกคือเลเซอร์โซลิดสเตตที่ปั๊มด้วยไดโอด (DPSS) Nd: YAG Q-Switch ซึ่งใช้ผลึกจำลองเพื่อเปลี่ยนความยาวคลื่นอินฟราเรด 1,064 นาโนเมตรและสลับไปยังความยาวคลื่นอัลตราไวโอเลต 355 นาโนเมตร
รูปร่างของลำแสงเป็นแบบเกาส์เซียน ดังนั้นจุดจะกลมและความเข้มของพลังงานจะค่อยๆ ลดลงจากจุดศูนย์กลางไปยังขอบ ลำแสงสามารถโฟกัสที่จุดที่มีขนาดประมาณ 10 µm ได้
ตามหลักการแล้ว เช่นเดียวกับเลเซอร์โซลิดสเตตทั้งหมด เลเซอร์อัลตราไวโอเลตเหล่านี้มีความอ่อนไหวต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
ความเร็วในการทำซ้ำการทำงานที่สูงและพื้นที่การทำงานที่เล็กมากทำให้เลเซอร์เหล่านี้เหมาะที่สุดสำหรับการตัดเฉือนระดับไมโคร
เอ็กไซเมอร์เลเซอร์
เลเซอร์ UV ประเภทที่สองคือเลเซอร์ก๊าซ หรือเลเซอร์เอ็กไซเมอร์ ความยาวคลื่นของเลเซอร์นี้ขึ้นอยู่กับชนิดของส่วนผสมก๊าซที่ใช้ โดยมีช่วงตั้งแต่ 180 นาโนเมตรไปจนถึงมากกว่า 300 นาโนเมตร
รังสีที่สร้างขึ้นนั้นไม่กลมแต่มีรูปร่างเป็นสี่เหลี่ยมผืนผ้าซึ่งมีการกระจายความเข้มที่คงที่มากกว่าหรือน้อยกว่า มาสก์สามารถใช้เพื่อสร้างเรขาคณิตเฉพาะจุดได้
เลเซอร์ไอโลหะ
เลเซอร์ UV ประเภทที่สามคือเลเซอร์ไอโลหะ เลเซอร์ไอทองแดงเป็นเลเซอร์ที่ใช้บ่อยที่สุด แม้ว่าจะใช้ไอโลหะอื่นๆ ได้อีกหลายชนิดก็ตาม
เลเซอร์ไอทองแดงสร้างรังสีที่ความยาวคลื่น 511 นาโนเมตรและ 578 นาโนเมตร รูปร่างของลำแสงเป็นแบบเกาส์เซียน ซึ่งทำให้เลเซอร์นี้เหมาะสำหรับการใช้งานในช่วงเดียวกันกับเลเซอร์อัลตราไวโอเลตโซลิดสเตต